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      板式PECVD上下料机

      产品特点

      最高产能可达到6000pcs/h 

      可根据客户需求进行定制 

      设备结构简单稳定

      技术参数

      技术参数相关参数
      产速 4000 /6000 pcs/h(可订制)
      碳框尺寸 

      10*10（5*5，5*6，8*10,9*10 可选）

      硅片尺寸 

      166mm-210mm

      碎片率  ≤0.02%
      开机率≥98%
      功率15kW
      耗气量500L/min
      具体参数如有变动，本公司不另行通知！
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